電子行業常見的廢氣及廢氣處理吸收塔的凈化方式
點擊次數：469 更新時間：2025-08-19
在電子行業生產過程中，會產生多種廢氣，主要包括酸性廢氣、堿性廢氣、揮發性有機廢氣（VOCs）、含氟廢氣等。這些廢氣若未經處理直接排放，會對環境和人體健康造成危害，因此需要采用有效的凈化方式加以治理。
一、酸性廢氣
酸性廢氣主要來源于蝕刻、清洗等工藝過程中使用的酸液，如鹽酸、硝酸、磷酸等。常見的凈化方式是采用堿液噴淋塔，利用堿性溶液（如氫氧化鈉溶液）與酸性氣體發生中和反應，生成無害的鹽類和水。這種吸收塔通過氣體分布器將廢氣均勻分布，使廢氣與噴淋的堿液充分接觸，從而實現高效的凈化效果。
二、堿性廢氣
堿性廢氣主要來源于光刻工序中使用的四甲基氫氧化銨（TMAH）等堿性物質。處理這類廢氣通常采用酸液噴淋塔，利用硫酸等酸性溶液進行吸收。通過噴淋塔的多級噴淋和填料層的接觸，可以有效去除堿性氣體，達到環保排放標準。
三、揮發性有機廢氣（VOCs）
VOCs主要來源于涂膠、顯影工序以及有機溶劑清洗過程。處理VOCs的吸收塔凈化方式包括：
活性炭吸附：利用活性炭的高吸附性能，將VOCs吸附在活性炭表面，從而實現凈化。這種方法適用于低濃度、大風量的VOCs廢氣處理。
沸石濃縮轉輪+燃燒：先通過沸石濃縮轉輪將VOCs濃縮，然后將濃縮后的高濃度廢氣進行燃燒處理。這種方法凈化效率高，適合處理高濃度的VOCs廢氣。
催化燃燒：在催化劑的作用下，VOCs在較低溫度下被氧化分解為二氧化碳和水。催化燃燒技術適用于處理中高濃度的VOCs廢氣，具有高效、節能的特點。
四、含氟廢氣
含氟廢氣主要來源于干蝕刻、化學氣相沉積等工藝中使用的全氟化合物（PFCs）。處理含氟廢氣的吸收塔凈化方式包括：
燃燒法：通過燃料燃燒器將PFCs分解，然后用堿性溶液吸收產生的酸性氣體。
催化氧化法：利用催化劑在較低溫度下將PFCs氧化分解。
洗滌塔：通過堿性溶液洗滌，去除廢氣中的氟化物。
五、其他廢氣
電子行業還可能產生一些其他廢氣，如一般廢氣和含氮氧化物廢氣。一般廢氣通常含有廢熱，可直接排放。含氮氧化物廢氣則可通過選擇性催化還原（SCR）或選擇性非催化還原（SNCR）技術進行處理。
總之電子行業產生的廢氣種類繁多，成分復雜，需要根據廢氣的性質選擇合適的凈化方式。吸收塔作為一種有效的廢氣處理設備，通過物理吸收、化學反應等原理，能夠實現對多種廢氣的高效凈化，為電子行業的可持續發展提供了重要保障。
